材料物理专业磁控溅射镀膜实验教学论文
材料物理专业磁控溅射镀膜实验教学的探讨
淮北师范大学材料物理与化学学科是安徽省重点学科，材料物理专业的定位是培养复合型的人才，这就要求本专业的教育应该注重实践能力和创新能力，应该与社会的需求挂钩。磁控溅射镀膜实验开设具有重要的意义，能够将学生所学的理论专业知识同实际操作有机结合起来，使学生对所学的专业知识有个系统全面的掌握，从而能够适应社会的需求。
1. 磁控溅射镀膜实验开设的必要性
1.1 培养目标的要求。本专业要求学生能掌握材料物理基本理论与技术，具备材料科学相关的基本知识、基本理论和基本技能，具有一定的创新能力和较强的实践技能，能在材料科学与工程及其相关的领域从事研究、教学、科技开发及相关管理工作。
磁控溅射镀膜装置是较复杂的系统，包含了很多组件，例如真空计、机械泵、溅射靶等。材料物理专业的学生已经通过开设的不同理论课程的学习，具有非常扎实的专业理论知识，但是学生很难将所学的知识同实际操作有机结合起来。[3]通过镀膜实验的学习，学生能将课程所学的零散的知识进行全面和系统的掌握。
1.2 社会的需求。磁控溅射镀膜方式在多个工业领域中被广泛的应用[1，2]。例如现在应用比较广泛的ito(indiumtinoxide)导电膜玻璃就是利用磁控溅射的方法镀上一层氧化铟锡（俗称ito）膜加工制作成的。很多材料专业的学生在磁控溅射镀膜实验知识方面存在着欠缺，仅停留在单纯的理论知识掌握的层面。学生接触设备
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