【摘要】基于常规正方形结构开口环谐振器制作线性相位滤波器时,耦合缝太窄而不适合常规光刻工艺的加工,研究了高温超导开口环谐振器间的混合耦合,提出了适合常规光刻工艺加工的改进结构,并利用这种结构研究了一中心频率在1 750 MHz,带宽为80 MHz的高温超导六级线性相位滤

第33卷 第4期 电 子 科 技 大 学 学 报 Vol.33 No.4 2004年8月 Journal of UEST of China Aug. 2004

易加工开口环高温超导线性相位滤波器

张天良1 ，羊 恺2，补世荣2，刘娟秀2，罗正祥1

(1. 电子科技大学光电信息学院 成都 610054; 2. 电子科技大学电子工程学院 成都 610054)

【摘要】基于常规正方形结构开口环谐振器制作线性相位滤波器时，耦合缝太窄而不适合常规光刻工艺的加

工，研究了高温超导开口环谐振器间的混合耦合，提出了适合常规光刻工艺加工的改进结构，并利用这种结构研

究了一中心频率在1 750 MHz，带宽为80 MHz的高温超导六级线性相位滤波器。

关 键 词 开口环; 谐振器; 耦合; 超导; 线性相位; 滤波器

中图分类号 TN751.1+2; O511+.9 文献标识码 A

Design of Open-Loop Resonator HTSC Linear-Phase Filter

Zhang Tianliang1，Yang Kai2，Bu Shirong2，Liu Juanxiu2，Luo Zhengxiang1

(1. School of Opto-Electronic Information, UEST of China Chengdu 610054;

2. School of Electronic Engineering, UEST of China Chengdu 610054)

Abstract The coupling gap between traditional open-loop microstrip resonators of high

temperature superconductivity filter is too narrow to be fabricated with normal photolithography technology. This paper studies the mixed coupling of high temperature superconductivity open-loop microstrip resonators and presents a new improved resonator structure which can be fabricated with normal photolithography technology. A six-pole high temperature superconductivity linear phase filter is designed with this new structure and simulated results are also presented here.

Key words open-loop; resonator; coupling; superconductivity; linear-phase; filter

利用高温超导薄膜制作的滤波器具有极低的插损(＜0.2 dB)和陡峭的带外截止特性(＞30～40 dB/MHz)。为减小器件尺寸，在利用高温超导微带电路进行微波器件设计时，常采用具有较高介电常数以及较薄的基片。开口环谐振器是一种常见的半波长谐振器，传统采用的结构为近似正方形结构且开口位于单边的中部。但利用这种结构实现高温超导线性相位滤波器的制作时，谐振器间的耦合缝太窄而不利于常规光刻工艺的加工,常规光刻工艺要求线宽和缝宽都大于0.2 mm，即便采用特殊工艺加工，其成品率也太低。为此对高温超导开口环谐振器间的混合耦合作进一步分析以寻求适合常规光刻工艺加工的结构。

1 开口环谐振器间混合耦合分析

当两个具有相同谐振频率的谐振器之间发生耦合时，其谐振频率会发生变化[1]。假设其分离出的高、低频率分别为f1，f2，则其耦合系数k1,2可由下式求得[1,2]： 收稿日期：2004 04 20

基金项目：四川省青年基金资助项目

作者简介：张天良(1976 )，男，在职硕士生，主要从事高温超导微波应用方面的研究.