第二章透射电子显微镜结构2

一、照明系统(电子光学系统)

一、照明系统(电子光学系统) 1.电子枪:提供稳定的电子照明源

2.聚光镜(二级、有光栏):束斑2μm 3.物镜及偏转线圈(STEM):束斑 8.0- 0.1 μm

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