溅射镀膜

  • 溅射镀膜原理及其应用_图文

    溅射镀膜原理及其应用 - 磁控溅射镀膜及其应用 溅射原理 溅射原理 1. 先让惰性气体(通常为Ar气)产生辉光放电 现象产生带电的离子; 2. 带电离子经电场加速后撞击...

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    溅射镀膜类型 - 二级溅射,偏压溅射,三或四级溅射,射频溅射... 溅射镀膜类型_材料科学_工程科技_专业资料。二级溅射,偏压溅射,三或四级溅射,射频溅射 ...

  • 溅射镀膜类型.._图文

    溅射镀膜类型.. - 溅射镀膜类型 ? 溅射镀膜的方式很多,从电极结构上可分为二极 溅射、三或四极溅射和磁控溅射。 ? 直流溅射系统一般只能用于靶材为良导体的溅射...

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    溅射镀膜 - 第三章 溅射镀膜/Sputtering 三、溅射特性 表征溅射特性的参量主要有溅射阈值、溅射率, 以及溅射粒子的速度和能量等。 溅射阈值---是指使靶材原子发生...

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    溅射镀膜的类型 - 溅射镀膜的类型 因电极不同可以分为: ? 二极溅射 靶材为良导体 ? 三极溅射 ? 四极溅射 ? 磁控溅射 施加磁场来改变电子的运动方向,束缚并...

  • 磁控溅射镀膜技术_图文

    磁控溅射镀膜技术 - 一、引言 荷能粒子(例如氩离子)轰击固体表 面,引起表面各种粒子,如原子、分子 或团束从该物体表面逸出的现象称“溅射”。在磁控溅射镀膜中...

  • 第三章_溅射镀膜_图文

    第三章_溅射镀膜 - 第三章 溅射镀膜 §3-1 §3-2 溅射镀膜的特点 溅射的基本原理 §3-3 溅射镀膜类型 1 “溅射”: 指荷能粒子轰击固体表面(靶), 使...

  • 溅射镀膜

    溅射镀膜 - 溅射镀膜介绍 一: 溅射镀膜应用: 溅射镀膜主要用于半导体生产的金属薄膜的生长.如下图的金属层 1 到金属 层 6 都是运用溅射镀膜所生产. 溅射镀膜到...

  • 第三章溅射镀膜_图文

    第三章溅射镀膜 - 第三章 溅射镀膜技术 溅射现象是一百多年前格洛夫(Grove)发现的。 溅射是指 荷能粒子轰击固体表面(靶),使固体原子或者 分子从表面射出的现象...

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