论化学气相沉积(CVD)金刚石技术最新发展

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第2 2卷第 1期 21 0 0年 2月

材料工程

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S UP ERHARD ATERI M AL ENGI NEERI NG

论化学气相沉积 ( VD)刚石技术最新发展① C金 王亨瑞,亚民,真武,敬晖,长顺雷玄何董 (北京天地东方超硬材料股份有限公司,北京 1 0 8 ) 0 0 6

摘要:述了国内外化学气相沉积 ( VD)刚石技术研究及产业最新进展,绍了C描 C金介 VD金刚石的基本 生产方法、工手段、品类型及应用领域。过对国内 ̄ CV金刚石技术及产品研究最新进展情况的介加产通 I D '

绍,出了我国与世界先进的 ( VD金刚石技术存在的差距 .述了 C D金刚石市场发展存在的问题并指 C )阐 V 提出改进的建议。 关键词: VD;刚石;积;工 C金沉加

中图分类号: Q1 4 T 6

文献标识码: A

文章编号:6 3 13 (0 0 0—0 2 -0 1 7— 4 32 1 )1 0 2 6

Pr g e s o o r s f CV D i m o e hn l g da nd t c o o y

W ANG n— u,LEIYa mi He g r i — n,XUAN h n WU Z e—,HE Jn— u,DONG a g s u i g h i Ch n—h n ( Oig Tin iOre tSu r a d Ma eil .,Lt .,Bejn 0 1 Be n a d in peh r trasCo d iig 1 0 0 8,Chn ia)

Ab t a t I h a e,t e p o r s fr s a c n n u ty o s r c: n t e p p r h r g e so e e r h a d i d s r fCVD i mo d t c n l g da n e h oo y a o n b o d a e d s rb d An h a i me h d o r d c i n a d p o e sn t h me a d a r a r e c i e . d t e b sc t o fp o u to n r c s i g, t yp o c a l s h a plc to a e s, r i r duc d. By c he t e of pr du t s we l t e p ia i n r a a e nto a e ompa i g he rn t

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t st a i n a o e a d a r a e s i t t h m n b o d, t e a t o s p i t d o t t e g p a o t t e CVD u o h u h r on e u h a b u h d a n’ t c n l g e we n c i a a d o h r a v n e o n re, e c i e h u s i n i mo d S e h o o y b t e h n n t e d a c d c u t i s d s rb d t e q e to ab utt e d v l m e tofCVD a o o h e eop n dim nd’ Smar e n c i nd pr p e hes l i o t k ti h naa o os d t o uton t he pr bl ms o e . Ke wo d y r s:CVD;dimon a d;de st;ma h ni po i c i ng

1前言 金刚石是自然界已发现的具有最高的硬度、强

世纪 8 o年代初期通过化学低压气相沉积生成金刚石 薄膜 ( VD)术取得突破性进展,过多年的研究 C技经发展, VD金刚石生长技术已日渐成熟。 C目前已有四 种形态的 C VD金刚石产品进入市场,们是:)它 1纯多

度、磨性材料,刚石具有的热导率、耐金透过波段、声

速以及半导体特性和化学惰性等综合性能使其成为当今世界上最优秀的全方位材料。由于天然或高温但 高压合成单晶金刚石资源数量以及尺寸很有限,加工 成本又高,以它们的多种应用受到极大的限制。上所

晶金刚石厚片;)层金刚石;) 2涂 3大单晶金刚石;) 4纳 米金刚石膜。1 L

C VD金冈石的问世不仅可以带来巨大的经济效 4益,而更为重要的是, VD金刚石可以把金刚石材料 C

①收稿日期:0 O o— 2 21— 1 8作者简介:亨瑞 (9 o ),族,=市人.9 3年毕业于上海华东理工大学,级工程师 .要从事超硬材料技术及新产品研究工作王 16一男汉上海 18高主联系地址:京市 7 3信箱。北 3 2 2

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